미국 반도체 제조사 인텔이 올해 중국과 긴밀히 연계된 업체의 반도체 제조 장비를 테스트했다고 로이터통신이 12일(현지 시간) 보도했다.
사안에 정통한 소식통 2명에 따르면 인텔은 미국 캘리포니아주 프리몬트에 본사를 둔 반도체 장비 제조사 ACM 리서치(이하 ACM)로부터 장비를 공급받았다. ACM의 중국 상하이 및 한국 소재 지사는 미국 기술을 공급받지 못하도록 지난해 미국 정부의 제재 대상에 오른 바 있다. 중국 정부가 상업용 기술을 군사 용도로 활용하고, 첨단 반도체와 관련 제조 장비를 개발하는 데 ACM이 기여했다는 이유에서다. ACM 측은 이런 의혹을 부인한다. 인텔이 시험한 장비는 반도체 제조 과정에서 실리콘 웨이퍼의 물질을 제거할 때 쓰이는 이른바 '습식 식각' 장비 2대다.
인텔은 2027년 초 양산을 목표로 개발하는 차세대 반도체 제조 공정인 14A 공정에 이 장비를 적용할 가능성을 시험한 것으로 알려졌다.
ACM은 "개별 고객과의 구체적 거래에 대해 언급할 수 없다"면서도 "자사 미국 팀이 아시아 사업부에서 생산한 다수의 장비를 미국 내 고객에게 판매 및 인도했다"는 입장을 로이터에 밝혔다. 아울러 "미국에 본사를 둔 주요 반도체 제조업체에 장비 3대를 출하했으며, 현재 시험 중이고 일부 장비는 성능 기준을 충족했다"고 덧붙였다.
그러나 미국 정부가 지분을 보유한 인텔이 제재 대상 자회사를 둔 업체의 장비를 첨단 공정에 도입하는 방안을 검토한 점을 두고 미국에서는 국가안보상 우려가 제기되고 있다고 로이터는 전했다. 이 같은 우려에 ACM은 "자사는 국가안보를 위협하지 않으며, 미국 내 사업은 제재 대상인 상하이 사업부와 분리되고 고립된 구조로 운영된다"며 "미국 고객의 영업 비밀을 보호하기 위한 강력한 안전장치를 갖췄다"고 강조했다.
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