반도체 소재 기업 켐트로닉스(089010)가 ‘5N(99.999%)’ 초고순도 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트(PGMEA) 양산에 돌입했다. 다수 글로벌 업체에 본격적인 공급을 시작하며 반도체 소재 자립화를 가속화하는 모습이다.
켐트로닉스는 5N PGMEA 양산을 시작했다고 23일 밝혔다. 켐트로닉스는 2022년 친환경·초고순도 PGMEA를 자체 개발해 국산화 후 약 600억 원을 투자해 5N PGMEA의 양산 체제를 구축했다.
이번에 양산하는 PGMEA는 극자외선(EUV)·불화아르곤(ArF) 공정에서 세정용 시너(Thinner)의 주원료와 감광액(PR)의 불필요한 부분을 제거하는 핵심 용제로 쓰인다. 또 하부반사방지막(BARC), 스핀온하드마스크(SOH)의 주원료로도 활용된다.
켐트로닉스 제품의경쟁력은 압도적인 품질에서 나온다. 금속성 불순물을 10PPT(1조 분의 10) 이하로 최소화 하면서 5N 이상의 초고순도를 구현, PR 공정 후 금속성 잔류물로 인한 빛의 반사나 산란 등 불량을 현저히 줄였다. 이는 고객사의 반도체 수율 향상으로 이어진다.
환경 친화적인 것도 강점이다. 인체 유해 물질로 알려진 베타아이소머 함량이 1PPM(100만 분의 1) 이하다. 이는 일본·중국 수입 제품의 150~300 PPM 대비 현저히 낮다. 고객사의 ESG 경영에도 긍정적 영향을 미칠 수 있는 대목이다. 최근 가속화되는 글로벌 공급망 불안과 탈중국화 흐름에서 국산 소재의 적용 확대는 K-반도체 경쟁력 강화에 중요한 의미를 가진다.
켐트로닉스는 2006년 전자재료연구소 설립 이후 연구개발(R＆D) 투자를 늘려왔다. 5N PGMEA 국산화에 성공한 지 4년여 만에 글로벌 반도체 업체에 본격 공급을 시작하면서 소재 전문기업으로서 신뢰를 확보하게 됐다. 회사는 향후 수요 급증에 대비해 생산 능력 확대를 고려하고 있다. 현재 연간 2만 5000톤 규모의 생산 능력을 5만 톤까지 확대하는 방안이다.
켐트로닉스 관계자는 “최초 설계부터 증설을 염두에 두고 투자를 진행해 일부 반응기 추가만으로 고객사 수요를 빠르게 충족할 수 있다”며 “이번 공급 확정을 통해 안정적인 수익 창출 기반을 마련했다”고 설명했다.
김응수 켐트로닉스 대표는 “최고 품질의 제품을 안정적으로 공급해 업계 표준이 되도록 노력할 것”이라고 밝혔다. 켐트로닉스는 PGMEA 외에도 반도체 유리기판 공정 개발, 웨이퍼 재생 등 부품 사업을 확대하며 종합 반도체 기업으로의 도약을 준비하고 있다.
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