‘AI 핵심’ 반도체 극자외선 노광기술 출원, 삼성전자 2위

특허청, 최근 10년 노광기술 출원 분석

1위는 독일기업…삼성, 공정기술선 1위

사진제공=특허청

삼성전자가 인공지능의 핵심기술 중 하나인 반도체 극자외선 노광기술 특허 출원을 국내에서 두번째로 많이 낸 것으로 나타났다.

12일 특허청이 2011년부터 올해까지 반도체 극자외선 노광기술 국내 특허 출원을 분석한 결과에 따르면 전체 558건 가운데 삼성전자 출원 건수가 82건으로 두 번째로 많다. 1위는 100건을 출원한 독일의 칼짜이스다.



노광기술은 고성능·저전력 반도체를 제조할 때 필요한 기술로서 빛을 이용해 기판에 미세한 회로 패턴을 그린다. 극자외선 노광기술은 10나노(1나노=10억분의 1m) 이하의 패턴을 그리는 고도화된 기술로서 전 세계 반도체 기업이 이 기술을 확보하기 위해 경쟁 중이다. 올해 10월 대만 TSMC가 5나노 스마트폰용 애플리케이션 프로세서 양산에 처음 성공했다.

우리나라는 해외 기업들과 극자외선 노광기술 격차를 빠르게 좁히고 있다. 지난해 이 분야의 내국인 출원 건수는 40건으로 외국인 출원 건수(10건)를 처음 역전한 뒤, 올해도 두 배 넘게 출원 건수 우위를 유지했다. 삼성전자는 극자외선 노광기술 가운데 공정기술 분야 출원 건수가 61건으로 1위다. 최미숙 특허청 반도체심사과 특허팀장은 “우리나라 기업과 학계는 극자외선 노광기술 분야에서 선전하고 있다”고 말했다.
/양종곤기자 [e-mail]