나노크기 오염물질 측정기술 개발

진공상태에서 나노크기(1나노미터는 10억분의 1ｍ) 오염물질의 양을 재는 기술을 개발하는데 성공했다. 이번 성과는 최근 반도체 소자의 크기가 100나노미터(nm) 수준으로 작아 지면서 점점 심각해지고 있는 메모리 반도체 생산공정에서의 나노입자에 의한 오염문제를 해결하는데 도움을 줄 것으로 기대되고 있다. 한국표준과학연구원 정광화 박사는 이번 개발을 위해 ‘레이저백열법’을 사용했다고 설명했다.

‘레이저백열법’은 진공중의 오염물질이 높은 에너지의 레이저광과 부딪쳐 가열되면서 내는 빛(이를 복사선이라 부른다)을 분석해 오염물질의 농도와 크기를 측정하는 기술을 말한다. 이번 연구는 과기부의 특정연구개발사업의 일환으로 추진돼 내년까지 4 년간 100억원의 예산이 투입될 예정이며, 현재 산업현장에서 각종 국내 진공부품 소재의 평가와 인증에 활용돼 진공부품의 국산화와 해외시장개척에 도움을 주고 있다.
[phone]