삼성전자 등 세계4대 D램업체/12인치 웨이퍼 생산 박차

◎설비구축 잇달아 99년하반기 양산/64메가D램 단위생산량 크게 늘듯삼성전자를 비롯한 일본의 NEC·히타치(일립)·후지쓰(부사통) 등 세계 4대 D램 생산업체들이 D램생산 비용을 줄이기 위해 12인치웨이퍼(3백㎜) 생산을 서두르고 있다.

12인치웨이퍼는 현재 사용하고 있는 8인치에 비해 장비가격이 비싸다는 단점이 있으나 단위생산량이 30%나 많고 64·2백56메가D램 등 고집적도를 필요로 하는 제품을 생산할 수 있는 이점이 있다.

3일 업계에 따르면 삼성은 오는 99년 하반기부터 12인치를 이용한 64메가D램을 생산키로 하고 경기도 기흥공장에 관련설비를 도입하고 있다. 초기 생산량은 월 2만개로 알려지고 있다. 히타치도 1천2백억엔을 들여 월 3만장 생산규모의 8인치웨이퍼 양산라인을 구축하려던 당초 계획을 바꿔 12인치를 월 2만개 씩 생산하는 라인을 구축, 99년 하반기 완공할 계획이다. 투자액은 약 2천억엔으로 알려지고 있다.

12인치웨이퍼를 이용한 양산라인을 가동한다는 방침을 이미 발표한 후지쓰도 앞으로 5년간 2천2백억∼2천3백억엔을 투입해 18만9천㎡ 규모의 12인치 생산라인 공사를 내년 하반기부터 들어가 늦어도 99년 하반기부터는 메모리와 로직제품을 동시에 생산할 계획이다.<김희중 기자>