[반도체장비] 국산화 러시

17일 관련업계에 따르면 디아이·주성엔지니어링·한국DNS 등 국내 반도체 장비 업체들은 최근 자체 기술력으로 반도체 장비 국산화에 나서 독자모델을 개발하는 등 해외 기술 의존도를 크게 낮춰가고 있다.전문가들은 『반도체 장비산업은 그동안 기술축적이 어려워 해외에 절대적으로 의존했다』며 『최근 기술축적이 진척되면서 독자모델을 개발, 신기술 축적 등이 가시화되고 있다』고 말했다.

반도체 성능 검사장비 전문업체인 디아이(대표 박원호·朴元浩)는 그동안 일본 JEC사로부터 기술을 공여받아 10㎒급 테스터기를 내수시장에 판매했으나 최근 30㎒급 테스터기를 독자 개발했다. 이 회사는 반도체 성능검사 장비에서 축적된 기술력을 응용, 최근 박박액정표시장치(TFT-LCD) 모듈테스터기 2개 모델을 독자적으로 개발해 내년부터 타이완 등 동남아 시장 개척에 나서기로 했다.

일본 DNS사로부터 반도체 세정장치 관련 기술을 제공받은 한국DNS(대표 박창현·朴昌鉉)도 기술축적이 완료돼 최근 자동튜브크리너 2개 모델의 독자개발에 성공했다. 이 회사 관계자는 『그동안 일본으로부터 기술을 제공받아 국내 시장 외에는 수출에 제한을 받았으나 독자모델 개발에 성공함으로써 해외 시장을 적극적으로 개척할 수 있는 길이 열렸다』고 말했다.

반도체 세정장비 업체인 케이씨텍(대표 고석태·高錫泰)은 최근 반도체 전공정에 들어가는 웨이퍼크리닝·튜브크리닝의 국산화에 성공해 중국·타이완 등 해외시장 개척에 들어갔다. 이 회사는 또 반도체 제조공정에서 사용된 배기가스의 정화장치(가스 스크라버) 개발에 들어가 이르면 내년 중에 생산이 가능할 것으로 기대된다.

이밖에 신성ENG가 차세대 반도체 공정기술인 12인치 웨이퍼가공용 웨이퍼로더(이송장치) 개발을 마쳤으며 주성엔지니어링은 저압화학증착장비 국산화를 통해 반도체 장비 기술 독립을 이룩해 나가고 있다.

김형기기자[e-mail]