마이크로 자이로스코프 개발/삼성기술원,세계최초

◎각도변화 초당 0.1도 이하 감지/캠코더·자동차 위치제어 등 응용 기대삼성종합기술원(원장 임관)은 5일 반도체공정을 이용해 1초에 0.1도 이하의 각도변화까지 감지할수 있는 진공패키징된 마이크로자이로스코프시제품을 세계최초로 개발하는데 성공했다고 발표했다.

자이로스코프는 상하 좌우 전후에 생기는 각속도를 검출하고 이동체의 속도와 위치를 알려주는 센서로 지금까지 미국 아날로그 디바이스사와 버클리대학이 1초에 1도까지 각도변화를 감지할수 있는 표면미세방식의 마이크로자이로스코프를 연구차원에서 개발하기는 했으나 실제로 제품을 만들기는 삼성기술원이 처음이다.

삼성이 개발한 자이로스코프는 기존제품과는 달리 실리콘을 사용함으로써 경제성이 있고 가로와 세로가 1㎜의 극소형으로 캠코더의 손떨림방지, 자동차의 위치제어, 정보통신용감응소자, 미소광스위치, 릴레이등 폭넓은 분야에 응용될 전망이다.<백재현>