참엔지니어링, LCD생산 장비 레이저CVD 개발

참엔지니어링(대표 한인수, www.charmeng.com)이 TFT-LCD 생산 공정에 사용되는 수리 장비 `레이저 CVD(Chemical Vapor Deposition) 시스템` 을 개발했다고 5일 밝혔다.

레이저CVD란 LCD 기판에서 연결이 끊어진 부분을 검사하고, 레이저를 이용해 바로 이어주는 장비다. 특히 이 장비는 기존 외산장비보다 30% 가량 저렴할 뿐 아니라, 생산공정 중에 잘못 연결된 라인을 끊어주고 결함을 검사하는 기능도 탑재했기 때문에 LCD 생산수율을 높일 수 있다고 회사측은 설명했다.

이상호 팀장은 “최근 LCD 생산라인이 대형화되면서 수율을 높이기 위한 경쟁이 치열하다”며 “외산장비보다 가격이 저렴하고 기능도 뒤지지 않는다”고 자신했다.

참엔지니어링은 반도체 및 LCD 검사장비 제조업체로 지난 2001년 120억, 2002년 130억원의 매출을 올렸다. 최근 반도체 장비업계의 전반적인 침체에 따라 지난해 적자를 기록했지만 올해는 이번 LCD장비 개발을 계기로 이 분야에 주력해 흑자전환에 도전할 계획이다. [phone]

<김민형기자 [e-mail]>