반도체 세정설비 삼성전자 공급

한국디엔에스, 300㎜ 웨이퍼용반도체 제조용 장비업체 한국디엔에스(대표 박창현ㆍwww.kdns.co.kr)는 국내 최초로 자체 개발에 성공한 차세대 300㎜ 웨이퍼용 세정설비인 스핀 스크러버(모델명:KS-W12A-AV)를 오는 30일 삼성전자에 공급한다고 24일 밝혔다.

스핀 스크러버는 반도체 제조과정에서 웨이퍼 표면에 발생되는 0.1㎛급 초미세 먼지(Particle) 입자를 브러시 초음파 고압세정 등의 방식으로 세정ㆍ건조하는 장비다.

이 제품은 1G DRAM급 차세대 공정에서 요구되는 케미컬(Chemical) 세정기능을 채택, 기존의 순수액(D.I.WATER)을 이용한 무기세정 뿐만 아니라 미세 유기물 세정도 가능하다.

또 브러시 노즐 자동제어시스템 개발로 웨이퍼 표면의 세정능력을 향상시키는 한편 300㎜ 대구경 설비에서 필요한 공장ㆍ물류자동화 기능을 갖췄다고 회사측은 설명했다.

박창현 사장은 "이번 개발로 94년부터 현재까지 국내 반도체시장의 90% 이상을 점유하고 있는 8인치 스핀 스크러버에 이어 300㎜시장도 선점하게 됐다"고 밝히고 "대부분의 소자업체들이 본격적인 설비투자에 들어가는 내년부터 대당 10∼12억원에 달하는 이 장비를 연간 30대 생산, 총 360억원 이상의 매출증대 효과를 기대할 수 있게 됐다"고 덧붙였다.

지난해 매출액 1,126억원을 기록한 한국디엔에스는 올해 코스닥 등록을 추진하고 있다.

조충제기자