반도체 금형표면처리기술 일 수출

◎연우화학엔지니어링,선라이즈사에… 최첨단 플라즈마방식정밀화학 플랜트전문업체인 (주)연우화학엔지니어링(대표 이병철)이 플라즈마방식의 반도체 금형표면처리기술을 일본에 수출한다.

1일 관련업계에 따르면 연우화학엔지니어링은 최근 일본 선라이즈사와 플라즈마방식의 반도체 금형표면처리기술을 이전키로 하는 계약을 체결했다.

이병철 사장과 선라이즈사의 유모토 사장은 연우화학엔지니어링이 기술이전을 하고 선라이즈사는 이에따른 매출액의 15%를 이전료로 주기로 하는 계약서에 서명했다.

연우화학엔지니어링은 플라즈마를 이용한 반도체 금형표면처리기술이전과 함께 장비를 선라이즈사에 수출할 계획이다.

연우화학엔지니어링이 일본에 기술을 수출하는 플라즈마방식의 반도체 코팅처리기술은 고분자물질인 폴리머를 중합할 수 있는 메탄.아세틸렌가스 등을 글로우방전시켜 플라즈마로 만든 뒤 금형표면에 접촉시켜 반도체금형의 표면에 얇은 고분자막을 형성시켜주는 새로운 공법.

현행 반도체코팅기술의 한계를 극복한 최첨단기법으로 연우화학엔지니어링이 세계 최초로 개발해 각광을 받고 있는 기술이다.

연우화학엔지니어링은 선라이즈사이외에 도시바에 주문자상표부착생산(OEM)방식으로 납품하고 있는 일본업체들과도 접촉, 기술이전에 대한 가계약을 체결해 놓은 상태.

이사장은 일본 진출이 예상외로 순조롭게 진행되고 있다고 설명했다.

연우화학엔지니어링은 일본에 대한 기술이전과 동시에 미국 진출도 추진하고 있다.

연우화학엔지니어링은 플라즈마를 이용한 반도체 표면코팅기술에 대한 특허를 미국, 일본, 독일, 이탈리아 등 세계 8개국에 출원중이며, 인도, 러시아 등에도 출원할 계획이다.<박동석 기자>