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경기도 안성시 원곡면에 자리한 (주)테키스트(대표 김춘호·사진)은 반도체공정용 냉각장비 및 진공장비 등을 생산하는 기업이다.
지난 1997년 설립된 이 회사는 진공장비용 게이트 밸브(gate valve)의 국산화를 시작으로 pump rack 모듈시스템, leak 체크시스템, cold powder trap 등을 개발해왔다. 또 지난 2004년에는 국내 최저 경량의 오토 게이트 밸브를 개발하며 그 기술력을 인정받았다. 정밀 금속가공 기술력을 바탕으로 반도체 공정의 진공장비의 핵심부품을 상용화, LG전자를 시작으로 실트론, 삼성전자에 납품하며 지속적인 성장을 거듭해왔다.
2008년에는 신개념 CHILLER인 LICO를 선보이며 업계의 지형을 바꿔놓았다. LICO는 초정밀 열전반도체를 통한 냉각시스템으로 컴팩트한 사이즈와 빠른 응답성을 바탕으로 한 초정밀 온도제어가 가능한 제품이다. 특히 별도의 설비공간이 필요했던 기존 장비와 달리 메인 장비 챔버 인접한 곳에 위치해 최소한의 배관길이로 응답성과 정밀도, 온도 제어속도를 향상시켰다.
특히 기존 냉동식 대비 80%의 소비전력 감소를 이뤄냈으며 냉매 가스가 불필요한 Thermo Electronic Module의 사용으로 경제성과 친환경적인 사용성을 제공하고 있다. 이같은 장점을 무기로 연간 800여대가 납품되고 있는 테키스트의 LICO 시리즈는 그 적용범위가 점차 확대되고 있다.
“온습도 제어분야의 토탈 솔루션 제공을 통한 반도체 종합장비 메이커로 자리매 하고 있으며, 우리의 앞선 기술과 신용을 전 세계에 알리고자 각고의 노력을 경주하고 있다”는 김 대표는 “창조적 혁신을 바탕으로 최고의 기술과 신뢰로 고객의 만족에 최선을 다 하는 글로벌 기업으로 성장해 나갈 것”이라고 강조했다.
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