「국소크린룸」 도입 박차/삼성·현대 등 연내 구축

반도체업체들이 2백56메가D램 이상의 차세대 반도체용 제조설비인 국소크린룸의 도입을 확대하고 있다. 삼성·현대·아남 등 국내 대형소자업체들은 생산비를 절감하고 2백56메가D램 이상의 고집적반도체시대에 대비, 국소크린룸체제를 구축하기 위한 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템의 도입을 서두르고 있다. 이에따라 국내 크린룸설비생산업체들도 이 시스템과 관련된 각종 설비와 장비개발에 주력하고 있다.SMIF시스템은 전체크린룸시설 중에서 노광 및 식각 등 특정부문만 1크라스(1㎥속에 먼지 1개가 있는 상태) 이하의 초청정상태로 만드는 자동화인터페이스시스템으로 차세대국소크린룸을 실현하는 것이다.

이같은 국소크린룸설비의 도입이 국내에서 본격화되고 있는 것은 현재 주류를 이루고 있는 팬 필터 유닛(FFU) 및 시스템의 셀롤링방식이 전력소모가 너무 많고 잔존가스나 미세한 진동에도 먼지가 일 가능성이 높아 2백56메가D램 이상의 차세대반도체 제조에는 적합하지 않기 때문이다.