세메스, 대한기계학회와 KSOIC 대회 개최…산학협력 강화

세메스 천안사업장 전경. 사진 제공=세메스

반도체 장비업체 세메스는 강원도 하이원 그랜드호텔에서 제10회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지 행사를 열었다고 12일 밝혔다.

이 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용될 수 있는 기계공학 분야의 논문 공모전이다. 국내 최초로 시행되고 있는 산학 오픈 이노베이션 형태의 대회다.



세메스는 미래혁신기술 개발을 위한 아이디어 및 우수인재 발굴을 목적으로 대한기계학회와 해당 행사를 2016년부터 공동으로 주최·운영하고 있다. 세메스는 대한기계학회와의 전략적 파트너십을 통해 차별화된 고성능 장비 개발을 앞당긴다는 전략이다.

주최 측은 국내 28개 대학 및 연구기관으로부터 △생산설비기술 △CAE기술 △계측제어기술 △열·유체·소재기술 △공정기술 △AI기술 등을 주제로 총 96편의 제안서를 접수받았다. 공모전에서 선정된 논문은 대상 1팀, 금상 2팀 등을 포함해 총 12개 팀이다. ‘이벤트 카메라 기반 3D-LPT를 통한 웨이퍼 엣지 액적 충돌 메커니즘 규명’을 논문 주제로 발표한 서울대 기계공학과 박형민 교수팀이 수상했다.

심상필 세메스 대표는 “앞으로도 학회의 우수한 연구 인프라를 활용해 시장에서 요구하는 고난이도 반도체 공정장비 기술개발에 앞장서겠다”고 말했다.