로봇앤드디자인은 2013년도 기술개발사업에 ‘투명 웨이퍼용 프리 얼라이너(Pre Aligner) 개발’ 과제로 참여, 기술개발 자금을 지원받아 투명한 웨이퍼를 정렬할 수 있는 장치 개발에 성공했다.
프리 얼라이너는 반도체의 재료가 되는 얇은 실리콘 판(웨이퍼)의 중심과 위치를 정렬하는 장치로 반도체 제조 공정시 반드시 필요한 장치다.
그동안 반도체 관련 기업의 투명 웨이퍼 정렬 장치 수요가 증가했음에도 정렬 가능한 국내 장비가 없어 수입제품에 의존해야 했다.
투명 웨이퍼 정렬장치 개발 성공으로 반도체 제조 공정 때 웨이퍼의 크기 및 투명도에 제약 없이 정렬할 수 있다. 특히 정밀도와 처리시간 등 선진 기술 대비 동등 이상의 성능 확보로 올 상반기까지 총 46대(4.7억 원) 판매 성과를 거뒀다.
박준건 로봇앤드디자인 수석연구원은 “반도체 시장 불황에도 자사가 개발한 프리 얼라이너의 수요가 빠르게 증가하고 있다”며 “개발 필요 적기에 경기도로부터 자금 지원을 받게 되어 좋은 성과를 거둘 수 있었다”고 말했다.
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