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[강해령의 하이엔드 테크] 인텔 ‘회심의 일격’, High-NA EUV는 무엇일까?<2>
산업 기업 2021.08.08 20:16:14#앞선 ‘[강해령의 하이엔드 테크] 인텔 ‘회심의 일격’, High-NA EUV는 무엇일까?’ 1부 기사에서는 High-NA EUV 장비에서 렌즈 크기가 중요한 이유를 분석했습니다. ◇1부 네 줄 요약 △EUV 노광 장비는 반도체 회로를 EUV 빛으로 찍어내는 위한 최첨단 장비다. △노광기로 초미세회로를 찍어내려면 공정 상수(K1)와 파장(λ)은 낮추고, NA 값은 올려야 한다. △노광 공정 전문가들은 부단한 노력으로 공정상수(K1)를 낮추고 있 -
[강해령의 하이엔드 테크] 인텔 ‘회심의 일격’, High-NA EUV는 무엇일까?<1>
산업 기업 2021.08.08 17:30:00지난달 팻 겔싱어 인텔 CEO는 '인텔이 돌아왔다'는 말과 함께 새로운 반도체 기술 로드맵을 발표했다. 이때 사람들의 시선을 단번에 사로잡은 말이 있었다. '하이(High)-NA 극자외선(EUV)' 장비를 반도체 제조사 중 가장 먼저 활용하겠다는 얘기다. 인텔은 EUV 도입이 한발 늦다. 삼성전자, TSMC보다 4년 늦은 2023년 처음 EUV 기술을 도입할 예정이다. 최근 개화한 EUV 시대 전반전에서는 자존심을 구겼지만, 후반전에는 EUV 기술
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