삼성, 연말 High-NA EUV 1호기 반입…생태계 구축에도 속도 [강해령의 하이엔드 테크]
            
        
     
    
        
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                                    이재용(왼쪽 세번째) 삼성전자 회장, 윤석열(왼쪽 다섯번째) 대통령, 최태원(맨 오른쪽) SK그룹 회장이 네덜란드 ASML 본사에 설치된 하이-NA 장비 앞에서 기념촬영을 하고 있습니다. 사진제공=대통령실
                                 
                             
                         
                        
                            
                                
                                    
                                        
                                    
                                    ASML의 High-NA EUV 장비. 대당 5000억원을 호가하고, 설치에도 꽤 오랜 시간이 걸립니다. 사진제공=ASML
                                 
                             
                         
                        
                            
                                
                                    
                                        
                                    
                                    High-NA EUV를 활용한 APMI 성능. 자료출처=삼성전자 민철기 박사 발표 슬라이드.
                                 
                             
                         
                        
                            
                                
                                    
                                        
                                    
                                    사진제공=ASML, 구글
                                 
                             
                         
                        
                            
                                
                                    
                                        
                                    
                                    기존 EUV APMI인 액티스 A100과 High-NA EUV용 APMI인 액티스 A300의 성능 비교. 자료출처=삼성전자 민철기 박사 발표 슬라이드.