삼성전자가 '4나노 칩 만들 때 써보고 싶다' 러브콜 보낸 이 장비는? [강해령의 하이엔드 테크]
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2022년 조 바이든(왼쪽 네번째) 미국 대통령이 삼성전자 평택 공장을 방문해 윤석열(오른쪽 세번째) 대통령과 함께 어플라이드 머티어리얼즈의 반도체 장비를 살펴보고 있다. 사진=대통령실
박광선 어플라이드 머티어리얼즈 코리아 대표가 지난해 회사의 패터닝 제품군 매출이 80억 달러를 기록했다고 밝혔다. 사진제공=어플라이드 머티어리얼즈 코리아
어플라이드 머티어리얼즈의 스컬프타 장비. 사진제공=어플라이드 머티어리얼즈
어플라이드 머티어리얼즈의 비스듬한 식각 빔 기술이 들어간 ‘스컬프타’ 장비가 있으면 EUV 공정을 두번에 걸쳐 진행하지 않아도 회로 간 간격을 좁힐 수 있다. 사진출처=어플라이드 머티어리얼즈 코리아
측면에서 들어오는 빔으로 회로 사이 엉겨붙은 브릿지를 말끔하고 효율적으로 제거할 수 있다. 패턴을 더 매끈하고 예쁘게 만들어준다고 해서 패터닝-셰이핑이라는 용어를 쓴다. 사진출처=어플라이드 머티어리얼즈 코리아