서울경제

삼성 반도체 경영진은 일본에서 무엇을 보고 왔을까? [강해령의 하이엔드 테크] <끝·EUV 소재 편>

사진=연합뉴스

반도체 노광 공정에서 빛과 반응하는 물질인 포토레지스트(PR)는 반드시 필요한 소재입니다. 자료제공=삼성디스플레이

2019년 일본 수출규제 당시 삼성전자 총수인 이재용 회장(당시 부회장)이 현황을 점검하기 위해 직접 일본으로 떠날 만큼 상당히 급박한 상황이 전개됐습니다. 사진=연합뉴스

세계 시장에서 한국으로 들어온 PR 수입량과 일본 PR 수입 현황. EUV용 PR 외에도 ArF, KrF 노광용 PR까지 포함합니다. 일본산 PR은 EUV 전 세대에도 위세를 떨쳤습니다. JSR, 도쿄오카공업(TOK), 신에츠화학, 스미토모화학 등이 삼성전자 범용 PR 공급 거래선에서 ‘주류(mainstream)’를 맡고 있습니다. 자료=관세청

JSR 사진=연합뉴스

벨기에에서 들여온 PR 수입량입니다. 대다수가 RMQC에서 들여온 EUV PR로 추저됩니다. 2019년 수출규제 당시에만 해도 3.2톤이던 PR 수입량이 지난해에는 31톤 가까이 한국으로 들어왔습니다. 확실한 공급선으로 활용되고 있다는 방증입니다. 자료=관세청

신에츠 주요 PR 생산라인과 연구 설비가 있는 일본 니가타현 나오에츠 지역 전경. 사진제공=신에츠화학

미국 소재회사 듀폰의 경기도 화성 R&D 센터. 이곳에서 회사의 EUV PR 생산 연구가 활발하게 진행되고 있는 것으로 알려집니다. 사진제공=듀폰

삼성전자 임직원들이 지난 2022년 3나노 반도체 웨이퍼를 소개하고 있습니다. 일본산 웨이퍼-PR-장비와 부품이 골고루 활용되고 있습니다. 사진제공=삼성전자

삼성 반도체 경영진은 일본에서 무엇을 보고 왔을까? [강해령의 하이엔드 테크] <끝·EUV 소재 편>

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