기계연, 반도체 웨이퍼 이송장비용 2D 라이다 센서 국산화 성공
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반도체 웨이퍼 이송장비(OHT). 사진제공=한국기계연구원
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반도체 웨이퍼 이송장비(OHT). 사진제공=한국기계연구원