반도체에 3차원 신기술…삼성, 패키징도 '초격차'
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최첨단 EUV 시스템 반도체에 적용한 3차원 적층기술 개념도/사진제공=삼성전자
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최첨단 EUV 시스템 반도체에 적용한 3차원 적층기술 개념도/사진제공=삼성전자